1. การเตรียมวัตถุดิบ
จำเป็นต้องเตรียมวัตถุดิบ เช่น ทรายซิลิกา, วัสดุคาร์บอน (เช่น ปิโตรเลียมโค้ก, แอนทราไซต์, ฯลฯ), และทรายควอทซ์. วัตถุดิบเหล่านี้เป็นพื้นฐานของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เผาด้วยปฏิกิริยา, และคุณภาพและสัดส่วนจะส่งผลต่อประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย.
2. การบดและการคัดกรอง
วัตถุดิบที่เตรียมไว้จะถูกบดและคัดแยกเพื่อให้ได้วัตถุดิบที่มีขนาดอนุภาคที่เหมาะสม. ขนาดอนุภาคที่เหมาะสมช่วยในการผสมส่วนผสมและปฏิกิริยาในภายหลัง, ตรวจสอบให้แน่ใจว่าวัตถุดิบสามารถสัมผัสกับปฏิกิริยาได้อย่างเต็มที่และรับประกันความสม่ำเสมอของคุณภาพของผลิตภัณฑ์.
![]()
3. การผสมและการผสม
- การผสมเป็นสัดส่วน
วัตถุดิบต่างๆ ถูกแบทช์ตามสัดส่วนที่กำหนด. สัดส่วนนี้จะต้องถูกกำหนดโดยอิงตามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของลำแสงซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ต้องการ, เช่นความแข็งแกร่ง, ความแข็ง, ทนต่ออุณหภูมิสูง, ฯลฯ. - การผสมสม่ำเสมอ
ผสมวัตถุดิบที่เตรียมไว้ให้ทั่วเพื่อกระจายวัตถุดิบอย่างเท่าเทียมกัน, ให้วัสดุพื้นฐานที่สม่ำเสมอสำหรับปฏิกิริยาที่ตามมา, และมั่นใจในเสถียรภาพของกระบวนการทำปฏิกิริยาและความสม่ำเสมอของคุณภาพผลิตภัณฑ์.
4. การปั้นตัวสีเขียว
- การฉีดขึ้นรูปสารละลาย: ผสมวัตถุดิบที่ผสมกับของเหลวที่เหมาะสมเพื่อทำเป็นของเหลว, แล้วจึงฉีดเข้าแม่พิมพ์เพื่อทำการปั้น.
- การอัดขึ้นรูปแบบแห้ง: ใส่วัตถุดิบที่ผสมลงในแม่พิมพ์แล้วขึ้นรูปภายใต้ความกดดัน.
- การขึ้นรูปแบบกดแบบไอโซสแตติกแบบเย็น: ใส่วัตถุดิบลงในแม่พิมพ์ยืดหยุ่น, ใส่ลงในภาชนะแรงดันสูง, และใช้แรงกดอย่างสม่ำเสมอผ่านตัวกลางของเหลวเพื่อขึ้นรูป. วิธีการขึ้นรูปเหล่านี้สามารถเลือกได้ตามความต้องการในการผลิตจริง รวมถึงรูปร่างและขนาดของผลิตภัณฑ์ เพื่อเตรียมลำแสงซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียว.
5. ปฏิกิริยาซิลิกอน
- การเตรียมสภาพแวดล้อมของปฏิกิริยา
วางตัวสีเขียวไว้ในสุญญากาศหรือบรรยากาศเฉื่อย. - การให้ความร้อนและปฏิกิริยา
อุ่นตัวเครื่องสีเขียวให้สูงกว่า 1,500 ℃, เมื่อถึงเวลานั้นซิลิคอนแข็งจะหลอมละลายเป็นซิลิคอนเหลว. ซิลิคอนเหลวหรือไอซิลิกอนจะแทรกซึมเข้าไปในร่างกายสีเขียวที่มีรูขุมขนผ่านการกระทำของเส้นเลือดฝอย, และทำปฏิกิริยาทางเคมีกับ C ในตัวสีเขียว. β-SiC ที่สร้างขึ้นในแหล่งกำเนิดจะรวมกับอนุภาค SiC ดั้งเดิมในตัวสีเขียว, และในที่สุดก็เกิดเป็นวัสดุเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เผาด้วยปฏิกิริยา, ซึ่งเป็นวัสดุพื้นฐานของการ ลำแสงซิลิคอนคาร์ไบด์. ในกระบวนการนี้, ข้อดีของการเผาผนึกปฏิกิริยาคือแทบไม่มีการหดตัวของปริมาตรเลย, ซึ่งเหมาะสำหรับการเตรียมชิ้นส่วนโครงสร้างขนาดใหญ่และมีรูปร่างซับซ้อนมากกว่า (เช่นคาน).
6. หลังการประมวลผล
- ระบายความร้อน
หลังจากปฏิกิริยาเสร็จสิ้น, ลำแสงซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกทำให้เย็นลงเพื่อลดอุณหภูมิลงเหลืออุณหภูมิห้อง. - การประมวลผลที่เป็นไปได้
ขึ้นอยู่กับความต้องการที่แท้จริง, อาจจำเป็นต้องมีการประมวลผลบางอย่างบนลำแสงซิลิคอนคาร์ไบด์, เช่นการตัดและเจียร, เพื่อตอบสนองความต้องการด้านขนาดและคุณภาพพื้นผิวเฉพาะ.


